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硅棒晶棒晶錠BCT400少子壽命測(cè)試儀

是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測(cè)量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測(cè)量模式。該設(shè)備可探測(cè)3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實(shí)現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測(cè)量,并能通過(guò)軟件端光強(qiáng)偏置實(shí)現(xiàn)單晶缺陷密度計(jì)算

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2026-02-07
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:45
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產(chǎn)品詳情

是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測(cè)量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測(cè)量模式。該設(shè)備可探測(cè)3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實(shí)現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測(cè)量,并能通過(guò)軟件端光強(qiáng)偏置實(shí)現(xiàn)單晶缺陷密度計(jì)算。


簡(jiǎn)單介紹

  1. 用途(高頻光電導(dǎo))

用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測(cè)量,除需要有一個(gè)測(cè)量平面外,對(duì)樣塊
體形無(wú)嚴(yán)格要求,可測(cè)塊狀和片狀單晶壽命。壽命測(cè)量可靈敏地反映單晶體
內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況,是單晶質(zhì)量的重要檢測(cè)項(xiàng)目。
2.設(shè)備組成
2.1光脈沖發(fā)生裝置
重復(fù)頻率>25次/s 脈寬>60μs 光脈沖關(guān)斷時(shí)間<1μs
紅外光源波長(zhǎng):1.06~1.09μm(測(cè)量硅單晶) 脈沖電流:5A~20A

測(cè)量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測(cè)量單晶和多晶硅(錠或塊)的少子壽命.
是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測(cè)量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測(cè)量模式。該設(shè)備可探測(cè)3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實(shí)現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測(cè)量,并能通過(guò)軟件端光強(qiáng)偏置實(shí)現(xiàn)單晶缺陷密度計(jì)算。

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