量程

低阻探頭

0.005-1Ω/sq

0.25-50mΩ·cm

渦流法，

非接觸式

中阻探頭

0.05-10Ω/sq

2.5-500mΩ·cm

高阻探頭

10-3000Ω/sq

0.5-150Ω·cm

錠探頭

0.01-2Ω·cm

重復(fù)性

＜0.2%(≤50%量程范圍）

準(zhǔn)確度

＜±3%(≤50%量程范圍）

探頭信息

探頭類型：雙探頭（上下探頭，間距2-3mm）

探頭直徑：外徑20mm，內(nèi)徑14mm（有效測試部分）

坐標(biāo)設(shè)置

存儲數(shù)據(jù)

數(shù)據(jù)庫內(nèi)部存儲（可導(dǎo)出表格文件）

PDF測試報告，含測試信息（時間、操作員）、wafer信息（編號、尺寸、厚度），數(shù)據(jù)信息（測試點數(shù)，**值，最小值，平均值，相對標(biāo)準(zhǔn)偏差等），等高線圖，曲面圖等。

CSV表格數(shù)據(jù)可存儲至遠(yuǎn)端服務(wù)器，可根據(jù)客戶需求修改相關(guān)報告信息

WAFER信息

尺寸：2"-8"（英寸）

厚度：100-1500μm

系統(tǒng)要求

供電：AC220V,50/60Hz；功率：600W；環(huán)境：溫度24℃±10℃

相對濕度：20%-80%RH；尺寸：975*465*425(mm)；壽命：>10年

Silicon wafer

Y

Y

SiC wafer / Ingot

Y

Y

GaO wafer / Ingot

Y

Y

GaN wafer 2DEGI

Y

Y

GaAs 2EDG

Y

IGZO/LTPS/ITO

Y

TCO(Touch panel)

Y

Graphene

Y

Metal film

Y

分析時間

2023/10/26 13:47

**電阻率

0.0232

操作員ID

admin

最小電阻率

0.02277

批次ID

0

平均電阻率

0.02293

樣片ID

A-1-55

標(biāo)準(zhǔn)偏差

0.000111

尺寸規(guī)格

100mm

相對標(biāo)準(zhǔn)偏差

0.4861%

1

0.12459

0.12466

0.12467

0.12471

0.12472

0.0413%

0.0703%

2

0.12347

0.12351

0.12356

0.12358

0.12362

0.0477%

3

0.12315

0.12321

0.12323

0.12326

0.12329

0.0431%

4

0.12389

0.12398

0.124

0.12402

0.12405

0.0489%

5

0.12421

0.12424

0.12428

0.12438

0.12441

0.0703%

6

0.12396

0.12403

0.12406

0.12408

0.12412

0.0484%

7

0.12387

0.12389

0.12398

0.124

0.12403

0.0566%

8

0.12482

0.12486

0.1249

0.12493

0.12496

0.0444%

9

0.12431

0.12434

0.1244

0.12447

0.12451

0.0679%

10

0.12429

0.12435

0.12438

0.12442

0.12445

0.0500%

11

0.12372

0.12378

0.1238

0.12383

0.12386

0.0429%

12

0.12381

0.12389

0.12392

0.12393

0.12396

0.0462%

13

0.1237

0.12374

0.1238

0.12381

0.12385

0.0481%

14

0.12386

0.12394

0.12396

0.12399

0.12403

0.0512%

15

0.12394

0.124

0.12404

0.12407

0.12409

0.0482%

16

0.12496

0.125

0.12504

0.12507

0.12509

0.0421%

17

0.1245

0.12454

0.12452

0.12464

0.12465

0.0562%

18

0.12414

0.12418

0.12422

0.12425

0.12427

0.0424%

19

0.12392

0.12396

0.124

0.12404

0.12406

0.0462%

20

0.12487

0.12491

0.12496

0.12501

0.12501

0.0495%

21

0.12355

0.1236

0.12363

0.12367

0.12372

0.0526%

22

0.12402

0.12409

0.12412

0.12415

0.12417

0.0473%

23

0.12442

0.12444

0.12453

0.12456

0.12458

0.0578%

24

0.12419

0.12423

0.12428

0.12431

0.12434

0.0486%

25

0.12388

0.12395

0.12396

0.12398

0.12403

0.0438%

26

0.12501

0.12505

0.12509

0.12512

0.12516

0.0468%

27

0.1244

0.12444

0.12453

0.12453

0.12458

0.0592%

28

0.12441

0.12445

0.12452

0.12453

0.12457

0.0519%

29

0.12385

0.12389

0.12393

0.12396

0.124

0.0473%

30

0.12379

0.12383

0.12385

0.12387

0.12392

0.0389%

31

0.12367

0.1237

0.12372

0.12374

0.12381

0.0425%

32

0.12393

0.12397

0.12402

0.12403

0.12409

0.0492%

33

0.12394

0.12396

0.124

0.12405

0.12409

0.0502%

34

0.12506

0.12509

0.12514

0.12519

0.12521

0.0510%

35

0.12449

0.12452

0.12459

0.12465

0.12466

0.0610%

36

0.12423

0.12423

0.12431

0.12434

0.12436

0.0491%

37

0.12382

0.12386

0.12386

0.12392

0.12395

0.0421%

38

0.12494

0.12497

0.12502

0.12508

0.12508

0.0507%

穩(wěn)定性

0.1013

0.05%

0.05%

0.1596

0.04%

0.04%

0.2884

0.05%

0.06%

0.5657

0.07%

0.05%

0.9746

0.07%

0.08%

1.5941

0.11%

0.09%

3.1808

0.16%

0.27%

16.662

0.48%

0.96%

56.4

0.03%

0.05%

180.6

0.10%

0.10%

264.4

0.10%

0.16%

573.7

0.28%

0.36%

750.9

0.34%

0.43%